主要特點
碳化硅懸臂槳性能穩定，在高溫環境下不變形，晶圓裝載量大，耐急冷急熱，熱膨脹係數小，使用壽命長，極大的
延長了設備維護清洗週期，並大幅減少污染物。
懸臂槳是光伏電池片裝載系統的關鍵部件。
SiC懸臂槳是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。目前半導體用帶CVD塗層的槳完全依賴進口。
我國到目前為止，高端半導體用碳化硅陶瓷依舊只能以進口為主，主要進口來源國為美國、日本。價格居高不下，交貨期基本在24個月之上，嚴重制約我國半導體行業的發展。同時，由於貿易摩擦，此類產品已經在國防軍工相關領域被禁用，國產替代勢在必行。固勤研製的槳、舟及爐管已初步滿足試產條件，正與中國電子科技集團展開合作，積極尋求進口替代。
