主要特点
碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，耐急冷急热，热膨胀系数小，使用寿命长，极大的
延长了设备维护清洗周期，并大幅减少污染物。
悬臂桨是光伏电池片装载系统的关键部件。
SiC悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。目前半导体用带CVD涂层的桨完全依赖进口。
我国到目前为止，高端半导体用碳化硅陶瓷依旧只能以进口为主，主要进口来源国为美国、日本。价格居高不下，交货期基本在24个月之上，严重制约我国半导体行业的发展。同时，由于贸易摩擦，此类产品已经在国防军工相关领域被禁用，国产替代势在必行。固勤研制的桨、舟及炉管已初步满足试产条件，正与中国电子科技集团展开合作，积极寻求进口替代。
