產品描述

主要特點

碳化硅舟（光伏級）結構穩定，材料熱穩定性能好，高溫使用不變形，（半導體級）材料純度高，具有高純度基體和碳化硅薄膜，避免了雜質引入，減少了工藝製程中對設備環境的污染，有效提高產品品質。

詳細說明

光伏行業普遍使用的石英舟托及舟，因其生產工藝和石英材料特性，使用壽命為3-6個月，碳化硅舟托及舟，代替石英，使用壽命可達5年以上，可顯著降低使用成本及維護維修停線造成的產能損失。

應用範圍

適用於光伏設備，半導體設備中晶圓的關鍵承載部件。
碳化硅舟應用半導體立式爐，主要應用於高溫氧化環節和高溫退火環節。

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